芯片廠在晶圓芯片生產過程中產生的酸堿廢氣。首先通過系統負壓支管收集(hookup,SScoating),并匯總到主管(PP風管),最后由集氣管道(DN700-DN2500,3000mm*1500mm)進入PP洗滌塔進行洗滌處理,最后由PP風機抽取經PP煙囪高空排放。
PP排氣管道
PP洗滌塔
PP風機
PP煙囪高空排放